臭氧知识
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洁净室内臭氧浓度的计算方法包括以下几个因素：
空气流量：洁净室内的空气流速会影响臭氧的扩散，当空气流速增加时，臭氧浓度会下降。
排氧时间：臭氧在排氧后的时间内会不断下降，因此排氧时间越长，臭氧浓度越低。
臭氧产生器的规格：臭氧产生器的规格（如臭氧产生量）会直接影响臭氧浓度。
洁净室内的物体：洁净室内的物体（如设备，工具等）会阻挡臭氧的扩散，当洁净室内的物体增加时，臭氧浓度会下降。
通常情况下，需要通过实验或模拟计算来确定洁净室内臭氧浓度的最佳水平。但是，最终的臭氧浓度还受到工艺要求和实际情况的影响，因此具体数值需要根据实际情况进行计算。
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